8英寸“超越摩尔”研发中试线

上海是我国半导体产业的基地，也是手机、汽车等产业重要的企业聚集地，这些有利条件为MEMS产业提供理想的发展环境和空间。在此背景下，SITRI与国际领先的晶圆厂密切合作，构建起了覆盖8英寸的“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线，提供从研发到量产的全程服务，打造完整的“超越摩尔”产业链，推动“超越摩尔”技术的快速发展。

SITRI的工艺研发平台以“超越摩尔”8英寸研发中试线为基础，该线作为国内首条、世界领先的工艺研发平台已于2017年11月正式启动运行，可进行各种MEMS产品的研发和小批量生产。研发中试线近5000平方米的洁净室，可以全面开展表面硅、体硅、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产；具有MEMS、硅光、生物芯片等相关工艺的生产和评价设备，大幅提升产品研发的成功率，实现产品从研发到量产的无缝衔接，从而打造MEMS及其它“超越摩尔”技术从研发到量产的高效平台；同时，SITRI积极在设备与材料领域开展战略布局，打造设备材料研发合作平台。目前，8英寸研发中试线已完成了ISO9001质量体系认证、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系，并建立了完善的客户IP信息保护规范。在与客户的产品合作开发模式上，通过联合研发，工艺整合与开发，生产对接，项目培育等多种创新形式，缩短研发与制造周期，加快产品迭代，推动科技成果的转化与产业化。

 

图：共性技术平台