上海新微技术研发中心有限公司传感器团队3月初攻克了技术难关，使温度传感器芯片的月产能从320万颗提升到640万颗。
红外温度传感器作为红外体温计的核心器件，疫情期间市场需求大。解放日报·上观新闻记者获悉，为进一步提高产能，上海新微技术研发中心有限公司（简称“工研院”）传感器团队3月初攻克了技术难关，使温度传感器芯片的月产能从320万颗提升到640万颗。截至发稿，该团队已提交约400万颗温度传感器芯片。
早在春节期间，工研院的“超越摩尔”8英寸研发中试线（简称“8寸线”）就紧急复工，24小时运作，第一批9万颗芯片以99.74%的良率提前三天交货，投放到了抗疫最前线。温度传感器芯片虽然尺寸不足2毫米，但需要120多个步骤、38台主力设备来制作。其中最关键也最耗时间的一个步骤，就是形成芯片背部空腔的深硅刻蚀工艺（简称“背腔刻蚀工艺”）。此前，工研院8寸线用在这一工艺上的设备只有一台，背腔刻蚀工艺成了温度传感器芯片生产的最大瓶颈。
在工研院相关部门大力支持下，8寸线负责人果断地启用了功能相近的另一台设备。但这台设备没有进行过背腔刻蚀工艺的开发，无法立即满足温度传感器芯片苛刻的工艺要求。而由于疫情关系，设备厂商无法到厂帮助调试设备。
这种情况下，攻坚小组争分夺秒开展新设备的背腔刻蚀工艺技术攻关。8寸线刻蚀设备工程师刘国峰，在工艺工程师因隔离无法及时到岗的状态下，一人承担设备和工艺两职，在同事们配合下第一时间展开各种实验。工艺工程师潘强及时制定了详细的工艺开发计划，在隔离期满后迅速到厂，与刘国峰并肩战斗。工艺经理黄志刚和设备经理胡天保，一直在协调人力、物力资源，及时取得了专业厂商的远程支持。研发团队在任务紧迫的情况下，迎难而上，通力合作，解决了一个又一个复杂的技术问题，新设备比计划提前4天达到可生产状态，使得温度传感器芯片产能尽快实现了翻倍。据介绍，如果工人全部到岗，预计3月可生产约790万颗温度传感器芯片。
目前，工研院参与研发的隔离人员“智能电子封条监控系统”已量产投入使用，降低了一线工作人员工作强度，可实时监测隔离场所人员动态。此外，工研院正在抓紧研发快速核酸PCR检测技术和高效雾化给药技术，预计5月产品将正式问世。
此文章转自2020年3月10日解放日报
工研院根据上海市经信委通知要求于2月2日正式复工后，得到了各方面的大力支持。比如，上海海关关税处，上海海关隶属嘉定海关综合科，嘉定海关企业管理和稽查科，为工研院开启了“绿色通道”，实施减免税、化学品查验快速通关，用特色服务解决了我们复工复产的燃眉之急。