上海微技术工业研究院（SITRI）工程测试平台作为支持研发和创新的重要载体，致力于为“超越摩尔”领域的研发和中试环节提供技术支撑。平台通过引进国内外先进分析和测试设备，自主研发相关软件、分析方法、测试方法等方式，建立了技术分析、工程测试、知识产权、设计服务等多个功能板块。
工程测试平台拥有一流的设备。压力传感器自动测试设备 Multitest Instrip ，解决了国内压力传感器供应链不完善的瓶颈性问题，帮助中小企业快速完成产品研发并进入市场。功率器件动静态测试设备 LYMSYS TRds4045-4070 及Mentor功率器件功率循环热阻测试设备的引入，打造了面向新能源汽车、智能电网、高铁等战略新兴领域的IGBT等新型功率器件的完善测试能力。
UF200R全自动晶圆探针台
工程测试平台提供专业服务现场
工程测试平台的核心服务能力有：
1.系统分析
针对终端电子产品进行拆解分析，获取从系统到模组到元器件层级的信息，并根据客户的需求，进行系统框架、堆栈结构、单板工艺、组装精度、物料汇总、制造成本等全面的技术分析。
2.工艺分析
针对芯片、MEMS Sensor等半导体器件进行工艺结构、生产制造、封装技术及制造成本等各方面的分析，提供被分析品封装Bonding金线X-Ray图像，Die俯平面与纵切面的2D、3D图像，被分析点的化学材料构成等信息。
3.电路分析
针对芯片通过X-Ray与去封装处理，确定引脚配置，通过物理与化学手段去层，借助显微镜逐层拍照、拼接、对准，通过RCAD软件提取网表，并对底层电路进行整理，结合工程师对电路的理解，整理成为层次化的功能模块，还原电路图。
4.MEMS晶圆级测试
采用亚洲唯一对外服务的晶圆级电容式MEMS自动测试设备，专用于测试电容结构的MEMS器件，包括陀螺仪、加速度计、压力传感器、麦克风等。
主要以测量MEMS结构的物理特性动静态参数，包括共振频率、品质因数、衰减系数、 粘合力、 正交误差、以及电容值及漏电流等。通过这些测试，可以帮助发现MEMS器件在设计和制程上的缺陷，从而提升MEMS器件的产品质量和良率，提高收益。
5.MEMS成品级测试
亚洲首台对外提供服务的11轴MEMS成品测试系统，专用于MEMS传感器+ASIC电路封装后的测试，该系统集合了3轴旋转、3轴翻转、3轴电磁激励及温度控制等功能，也可转换为压力腔模式。可对成品级陀螺仪、加速度计、磁传感器、压力传感器、温度传感器等进行封装后测试。
结合ATE测试设备可提供测量MEMS器件的关键参数，如零位输出、噪音、灵敏度、跨轴灵敏度、线性度、温漂等，并可对产品的误差值进行调校，满足产品供货需求。
6.IGBT模块测试
该测试采用世界顶级IGBT模块测试系统，是集动静态参数测试于一体的大功率器件测试系统。该系统可以提供动静态测试电流至4000A，动态电压至4500V，静态电压至7000V，能满足应用于家用电动汽车、商用电动汽车、光伏、风能、智能电网、轨道交通、高铁等IGBT模块的动静态参数测试。
7.知识产权
SITRI知识产权服务，面向物联网和“超越摩尔”技术领域企业，依托扎实的技术背景、专业的测试分析能力、深刻的行业理解，结合专业的知识产权及法律知识，切实保护合作伙伴的创新成果，同时帮助合作伙伴免受知识产权侵权损失，保障合作伙伴获得充分的自由实施权力。
截至目前，SITRI已在RF、MIRROR、IR、MEMS Accelerometer等微机电晶圆测试领域为30多家客户提供测试服务，服务区域达10多个省市。在本次科技抗疫中，工程测试团队承接了SITRI 8寸线产出晶圆测试的重要任务，得益于前期的技术积累和平台能力，工程测试团队在关键时刻发挥了重要作用，高效保证了温度传感器芯片的出货质量。
工程测试平台所提供的技术研发、技术转移、检验检测、创新资源共享等服务，已经全面登陆上海市科技创新券平台和长三角一体化双创券平台，能够有效帮助中小企业降低研发成本，提高产品技术水平。2019年至2020年3月，SITRI已帮助来自人工智能、5G、汽车电子、智慧物流等领域的24家高科技初创企业获得约133万的科技创新券补贴资金。