上海工研院所拥有的8英寸 “超越摩尔”研发中试线，技术能力覆盖了MEMS和硅基光电两大板块，可进行各种MEMS和硅基光电芯片的研发、中试和小批量生产。8吋线近5000平方米的洁净室，可以全面开展表面硅、体硅、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产；具有MEMS、硅光、压电、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为集成电路设计、设备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。
作为超越摩尔半导体领域的公共研发服务平台，上海工研院旨在为集成电路创新企业及合作伙伴提供深度工艺技术支持和服务，帮助创新企业降低研发投入成本和风险，加快智能传感器、硅光等芯片产品的迭代，缩短产品研发周期、提升企业科研能力。
半导体领域的科技创新是国内科技产业发展的重中之重，上海工研院为了进一步加强和补充超越摩尔半导体产业中紧缺的工艺加工能力，加速国内科研进展，助力科技创新发展，计划将部分半导体机台及工艺能力释放给产业链公司及科研机构，服务范围包括MEMS、硅基光电领域的国内紧缺工艺能力、半导体分析及测试服务等。
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